ZhenAn, Ποιες είναι οι βασικές μέθοδοι που χρησιμοποιούνται συνήθως για τη δοκιμή κόκκων υλικού στόχου;

ZhenAn, ποιες είναι οι βασικές μέθοδοι που χρησιμοποιούνται συνήθως για τη δοκιμή κόκκων υλικού στόχου;

Τα υλικά-στόχοι είναι συνήθως πολυκρυσταλλικά, με μεγέθη κόκκων που κυμαίνονται από μικρά έως χιλιοστά. Όσο λεπτότεροι είναι οι κόκκοι, τόσο μεγαλύτερη είναι η περιοχή ορίου των κόκκων και τόσο μεγαλύτερη είναι η επίδραση στην απόδοση. Για το ίδιο υλικό στόχο, οι στόχοι με λεπτούς κόκκους έχουν ταχύτερο ρυθμό εκτόξευσης από τους στόχους με χονδροειδείς κόκκους. Οι στόχοι με μικρότερες παραλλαγές μεγέθους κόκκου (ομοιόμορφη κατανομή) παράγουν πιο ομοιόμορφες κατανομές πάχους σε επιμεταλλωμένα φιλμ. Η έρευνα έχει βρει ότι εάν το μέγεθος κόκκου ενός στόχου τιτανίου ελέγχεται κάτω από 100 μm και η διακύμανση στο μέγεθος των κόκκων διατηρείται εντός 20%, η ποιότητα του προκύπτοντος διασκορπισμένου φιλμ μπορεί να βελτιωθεί. Σημαντική βελτίωση.

Τρεις βασικές μέθοδοι για τη δοκιμή μεγέθους κόκκου στόχου
1. Μέθοδος σύγκρισης: Η μέθοδος σύγκρισης δεν απαιτεί μέτρηση κόκκων ή τομές. Κατά τη σύγκριση με μια τυπική σειρά διαγραμμάτων βαθμολόγησης, η εκτίμηση μεγέθους κόκκων με τη χρήση της μεθόδου σύγκρισης γενικά παρουσιάζει έναν ορισμένο βαθμό απόκλισης (±0,5 επίπεδα). Η αναπαραγωγιμότητα και η αναπαραγωγιμότητα των αξιολογούμενων τιμών είναι συνήθως ±1 επίπεδο.

2. Μέθοδος επιφανείας: Η μέθοδος εμβαδού μετράει τον αριθμό των κόκκων σε μια γνωστή περιοχή και χρησιμοποιεί τον αριθμό των κόκκων ανά μονάδα επιφάνειας για να προσδιορίσει τον βαθμό μεγέθους κόκκου. Η ακρίβεια αυτής της μεθόδου είναι συνάρτηση του υπολογισμένου μεγέθους κόκκου και με σωστή μέτρηση μπορεί να επιτευχθεί ακρίβεια ±0,25 επιπέδων. Τα αποτελέσματα της μεθόδου εμβαδού είναι αμερόληπτα, με αναπαραγωγιμότητα μικρότερη από ±0,5 επίπεδα. Το κλειδί για τον προσδιορισμό του μεγέθους των κόκκων με τη μέθοδο της επιφάνειας βρίσκεται στην καταμέτρηση των κόκκων που οριοθετούν σαφώς τα όρια των κόκκων.

3. Μέθοδος τομής: Η μέτρηση τομής υπολογίζεται μετρώντας τον αριθμό των τομών όπου ένα τμήμα γραμμής δοκιμής (ή πλέγμα) γνωστού μήκους τέμνει τα όρια των κόκκων. Ο βαθμός μεγέθους κόκκου προσδιορίζεται χρησιμοποιώντας τον αριθμό των τεμαχίων ανά μονάδα μήκους. Η ακρίβεια της μεθόδου αναχαίτισης είναι συνάρτηση του αριθμού των υποκλοπών ή των παρεμβολών που υπολογίζονται και μπορεί να επιτευχθεί μέσω αποτελεσματικής στατιστικής ανάλυσης. Ακρίβεια επιπέδου ±0,25. Τα αποτελέσματα μέτρησης της μεθόδου τομής είναι-ελεύθερα μεροληψίας και η αναπαραγωγιμότητα και η αναπαραγωγιμότητα είναι μικρότερα από ±0,5 επίπεδα. Για το ίδιο επίπεδο ακρίβειας, η μέθοδος τομής δεν απαιτεί ακριβή σήμανση σημείων τομής ή αριθμούς τομής, επομένως είναι ταχύτερη από τη μέθοδο εμβαδού.