Zhenan Tungsten Target Product PDF έγγραφο, κάντε κλικ για λήψη
Πώς λειτουργούν οι στόχοι βολφραμίου στη διαδικασία ψεκασμού;
Το ψεκασμό είναι μια τεχνική φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD) στην οποία τα άτομα ιονισμένα αέρια επιταχύνονται προς έναν στόχο βολφραμίου. Όταν αυτά τα ενεργειακά ιόντα χτυπούν την επιφάνεια του στόχου βολφραμίου, τα άτομα βολφραμίου εκτοξεύονται από το υλικό στόχου. Αυτά τα άτομα που εκτοξεύονται από τη βολφράμιο και στη συνέχεια ταξιδεύουν μέσω ενός θάλαμου γεμάτου αερίου και εναποτίθενται σε ένα υπόστρωμα για να σχηματίσουν ένα λεπτό φιλμ. Το υψηλό σημείο τήξης και η καλή θερμική σταθερότητα του στόχου βολφραμίου του επιτρέπουν να αντέχει τον βομβαρδισμό των ενεργειακών ιόντων κατά τη διάρκεια της διαδικασίας ψεκασμού. Η χαμηλή πίεση ατμών του βολφραμίου εξασφαλίζει ότι ο ρυθμός ψεκασμού παραμένει σταθερός με την πάροδο του χρόνου, με αποτέλεσμα τη συνεπή και ομοιόμορφη εναπόθεση φιλμ.
Zhenan υψηλής ποιότητας στόχος βολφραμίου
Πίνακας παραμέτρων παραμέτρων προϊόντος στόχου Pure Tungsten Metal Sputtering
|
Εφαρμογή |
Ημιαγωγοί, μικρο-ηλεκτρονικά κ.λπ. |
|
Ατομικός όγκος |
9.53 cm3\/mol |
|
Κρυσταλλική δομή και σταθερά πλέγματος |
- W: BCC A=3 16524 nm (25 μοίρες) |
|
-W |
Cubic Lattice A=5. 046 nm (σταθερό κάτω από 630 μοίρες) |
|
Λανθάνουσα θερμότητα τήξης |
40.13 ± 6.67kJ\/mol |
|
Θερμότητα εξάχνωσης |
847.8 kJ\/mol (25 μοίρες) |
|
Θερμότητα εξάτμισης |
823.85 ± 20.9kJ\/mol (σημείο βρασμού) |
|
Συντελεστής θερμοκρασίας |
0. 00482 I\/ πτυχίο |
|
Ελαστικό μέτρο |
35000 ~ 38000 MPa (σύρμα) |
|
Μέτρο στρέψης |
~ 36000MPa |
|
Συμπιεστό |
2. 910-7 cm\/kg |
Εάν έχετε άλλες ανάγκες προϊόντων, επικοινωνήστε μαζί μας, αφήστε ένα μήνυμα στο: sales@zanewmetal.com, θα σας απαντήσουμε το συντομότερο δυνατό ~