Διαβάθμιση καθαρότητας & Πιστοποίηση χωνευτηρίου τανταλίου υψηλής καθαρότητας
Ένα χωνευτήριο τανταλίου υψηλής καθαρότητας ορίζεται από καθαρότητα μεγαλύτερη από ή ίση με 99,99%, εξαλείφοντας ίχνη μολυσματικών ουσιών για την κάλυψη των αυστηρών απαιτήσεων της επεξεργασίας εξαιρετικά ευαίσθητων υλικών.
Τα επίπεδα καθαρότητας περιλαμβάνουν 99,95% (εμπορικός βαθμός), 99,98% (αναλυτικός βαθμός) και 99,99% (ηλεκτρονικός/πυρηνικός βαθμός). Η πιστοποίηση μέσω GDMS (φασματομετρία μάζας εκκένωσης πυράκτωσης) ή ICP-MS (επαγωγικά συζευγμένη φασματομετρία μάζας πλάσματος) επαληθεύει τα επίπεδα ακαθαρσίας: π.χ. 99,99% χωνευτήρια έχουν Fe μικρότερο ή ίσο με 5 ppm, Ni λιγότερο από ή ίσο με 3 ppm ή ίσο με 3 ppm από χωνευτήρια. Αυτή η ιχνηλασιμότητα είναι κρίσιμη για εφαρμογές αεροδιαστημικής (υπερκράματα τήξης) ή ημιαγωγών (επεξεργασία διηλεκτρικών υψηλών-k).
|
|
|
|
|
|---|---|---|---|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Χωνευτήριο 99,95% τανταλίου για εξατμιστήρα δέσμης ηλεκτρονίων, χρήση εργαστηρίου Ta χωνευτήριο
Προκλήσεις κατασκευής χωνευτηρίου τανταλίου υψηλής καθαρότητας
Μετά την{0}}κατασκευή, ανόπτηση υπό κενό (1500 μοίρες, 10-5 Pa) αφαιρεί τα απορροφημένα αέρια, ενισχύοντας περαιτέρω την καθαρότητα.
Πλεονεκτήματα απόδοσης σε κρίσιμες εφαρμογές
Στην επιταξία ημιαγωγών, τα χωνευτήρια κατά 99,99% αποτρέπουν τη μόλυνση με προσμίξεις (π.χ. ο Fe αλλάζει τις ηλεκτρικές ιδιότητες του πυριτίου). Για πυρηνικά καύσιμα, περιέχουν τήγματα οξειδίου του ουρανίου χωρίς να εισάγουν ακαθαρσίες που απορροφούν νετρόνια (π.χ. B, Cd). Ο χαμηλός τους ρυθμός εξάτμισης (<10⁻⁹ Torr·L/s·cm²) also suits ultra-high-vacuum (UHV) systems, unlike lower-purity crucibles that release volatiles.
